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 微系统与微结构制造教育部重点实验室成立于2006年，2009年7月通过建设验收。实验室以微系统与微结构为研究对象，以机械制造及其自动化、机械电子工程、材料加工工程、精密仪器及机械等4个国家级重点学科为主要依托，以微电子与固体物理、化学、物理学等学科为基础，通过多学科交叉与融合，建设和完善了微纳米制造理论与方法、微系统与微结构设计、微结构加工技术、微纳米技术装备、微成形与微连接技术、纳米材料制备表征与应用等若干研究方向。